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1、被控制對象
要求實現(xiàn)控制的真空裝置或生產(chǎn)過程，稱之為被控制對象。例如真空閥、
真空泵、真空鍍膜機、真空熱處理爐等。
2、測量裝置
測量被控制量變化的裝置。例如:真空計、溫度計、膜厚測量儀等。
3、調(diào)節(jié)裝置(調(diào)節(jié)器)
它把測量裝置所測量的被控制童與真空工藝所需要保持的給定值相比較，得出偏差值，并按設(shè)計好的運算規(guī)律進行運算，發(fā)出信號，使控制執(zhí)行機構(gòu)動作，以消除被控制量與給定值的偏差。如模擬PID(比例、積分、微分)調(diào)節(jié)器、數(shù)字PID調(diào)節(jié)器(即單片機、計算機)等。在真空裝置的真空度控制中，它通常與測量裝置的真空規(guī)及執(zhí)行機構(gòu)的真空調(diào)節(jié)閥組合在一起，構(gòu)成壓力控制儀。
4、執(zhí)行機構(gòu)
它接受調(diào)節(jié)裝置發(fā)出的信號，產(chǎn)生調(diào)節(jié)作用，以消除被控制量與給定值的偏
差。如真空室中調(diào)節(jié)真空度的調(diào)節(jié)閥及調(diào)節(jié)加熱溫度的調(diào)功器均屬此類機構(gòu)。
5、被控制量
系指被控制對象內(nèi)要求實現(xiàn)控制的參數(shù)。例如:壓力、溫度、流量、膜厚等。
6、測量值
測量裝置所測得的被控制量的實際值。
7、給定值
被控制量要求保持恒定或按預(yù)定規(guī)律變化的規(guī)定值。
8、偏差
測量值與給定值之差。
9、擾動干擾
它是使被控制量產(chǎn)生變化的因素。擾動分兩種:一種為控制系統(tǒng)內(nèi)各個環(huán)節(jié)產(chǎn)生的擾動，稱為內(nèi)擾;另一種為控制系統(tǒng)以外對系統(tǒng)產(chǎn)生的干擾，稱為外擾。
10、反饋
把輸出信號送回到輸人端，以增強或減弱輸人信號的效應(yīng)稱為反饋。凡使輸人信號增強者稱為正反饋;反之，則稱為負反饋。在自動控制系統(tǒng)中多采用負反饋。
11、調(diào)節(jié)過程系指控制系統(tǒng)受到加外信號(給定值或擾動)作用后，原來的平衡狀態(tài)遭到破壞，由于自動控制裝置的調(diào)節(jié)作用，使被控制量回復(fù)到原來的平衡狀態(tài)，或過渡到新的平衡狀態(tài)的過程。
12、位式調(diào)節(jié)
系指被控制量偏離給定值時，調(diào)節(jié)器使執(zhí)行機構(gòu)全開或全關(guān)的調(diào)節(jié)。如具有上、下限壓力給定的真空繼電器的壓力調(diào)節(jié)。
13、比例調(diào)節(jié)
調(diào)節(jié)器輸出的信號與偏差大小成比例，使執(zhí)行機構(gòu)的位置對應(yīng)于偏差的大小，它能減小偏差，但是不能完全消除偏差。常用P(Proportional)表示。
14、比例積分調(diào)節(jié)
調(diào)節(jié)器輸出的信號不僅與偏差成比例，且與偏差對時間的積分成比例，使執(zhí)行機構(gòu)按偏差的比例、積分規(guī)律進行調(diào)節(jié)，是理論上偏差為零的調(diào)節(jié)。常用PI (Propor-tional Intergral)表示。
15、比例積分微分調(diào)節(jié)
是將比例、積分、微分三種調(diào)節(jié)規(guī)律結(jié)合起來的綜合調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)器輸出的信號不僅與偏差的大小及偏差存在的時間長短有關(guān)，還與偏差變化的速度有關(guān)。常用PID(Proportional Intergral Derivative)表示。
16、比例放大倍數(shù)Kp增大Kp，可使靜態(tài)偏差變小，但系統(tǒng)的穩(wěn)定性變差;反之，則可提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性，但是，靜態(tài)偏差變大。通常用調(diào)節(jié)器的比例放大倍數(shù)Kp的倒數(shù)8表示，稱為比例度。
17、積分時間T表示積分調(diào)節(jié)作用速度和強弱的可調(diào)參數(shù)。在模擬積分調(diào)節(jié)器中，其數(shù)值等于調(diào)節(jié)器積分回路的時間常數(shù)。
18、微分時間Td
表示調(diào)節(jié)器中微分調(diào)節(jié)作用強弱的可調(diào)參數(shù)。在模擬微分調(diào)節(jié)器中，其數(shù)值等于調(diào)節(jié)器微分回路的時間常數(shù)。
19、穩(wěn)定性
系指控制系統(tǒng)在擾動作用下，過渡過程能否結(jié)束并達到平衡狀態(tài)的性能。在
擾動消除后，系統(tǒng)能恢復(fù)原來的平衡狀態(tài)的則是穩(wěn)定的。
20、穩(wěn)態(tài)精度
系指系統(tǒng)處于平衡狀態(tài)時，被控制量與給定值的偏差(即靜態(tài)偏差)。
21、動態(tài)精度
系指系統(tǒng)在隨時間變化的給定信號作用下所具有的精度。在定值系統(tǒng)中，動態(tài)精度就是過渡過程最大動態(tài)偏差。
22、自動控制系統(tǒng)
自動控制裝置和被控制對象組成自動控制系統(tǒng)，它能夠使被控制對象按預(yù)定的規(guī)律動作，自動完成真空工藝過程。如鍍膜機微機控制系統(tǒng)等。