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1、被控制對象
要求實現控制的真空裝置或生產過程，稱之為被控制對象。例如真空閥、
真空泵、真空鍍膜機、真空熱處理爐等。
2、測量裝置
測量被控制量變化的裝置。例如:真空計、溫度計、膜厚測量儀等。
3、調節裝置(調節器)
它把測量裝置所測量的被控制童與真空工藝所需要保持的給定值相比較，得出偏差值，并按設計好的運算規律進行運算，發出信號，使控制執行機構動作，以消除被控制量與給定值的偏差。如模擬PID(比例、積分、微分)調節器、數字PID調節器(即單片機、計算機)等。在真空裝置的真空度控制中，它通常與測量裝置的真空規及執行機構的真空調節閥組合在一起，構成壓力控制儀。
4、執行機構
它接受調節裝置發出的信號，產生調節作用，以消除被控制量與給定值的偏
差。如真空室中調節真空度的調節閥及調節加熱溫度的調功器均屬此類機構。
5、被控制量
系指被控制對象內要求實現控制的參數。例如:壓力、溫度、流量、膜厚等。
6、測量值
測量裝置所測得的被控制量的實際值。
7、給定值
被控制量要求保持恒定或按預定規律變化的規定值。
8、偏差
測量值與給定值之差。
9、擾動干擾
它是使被控制量產生變化的因素。擾動分兩種:一種為控制系統內各個環節產生的擾動，稱為內擾;另一種為控制系統以外對系統產生的干擾，稱為外擾。
10、反饋
把輸出信號送回到輸人端，以增強或減弱輸人信號的效應稱為反饋。凡使輸人信號增強者稱為正反饋;反之，則稱為負反饋。在自動控制系統中多采用負反饋。
11、調節過程系指控制系統受到加外信號(給定值或擾動)作用后，原來的平衡狀態遭到破壞，由于自動控制裝置的調節作用，使被控制量回復到原來的平衡狀態，或過渡到新的平衡狀態的過程。
12、位式調節
系指被控制量偏離給定值時，調節器使執行機構全開或全關的調節。如具有上、下限壓力給定的真空繼電器的壓力調節。
13、比例調節
調節器輸出的信號與偏差大小成比例，使執行機構的位置對應于偏差的大小，它能減小偏差，但是不能完全消除偏差。常用P(Proportional)表示。
14、比例積分調節
調節器輸出的信號不僅與偏差成比例，且與偏差對時間的積分成比例，使執行機構按偏差的比例、積分規律進行調節，是理論上偏差為零的調節。常用PI (Propor-tional Intergral)表示。
15、比例積分微分調節
是將比例、積分、微分三種調節規律結合起來的綜合調節，調節器輸出的信號不僅與偏差的大小及偏差存在的時間長短有關，還與偏差變化的速度有關。常用PID(Proportional Intergral Derivative)表示。
16、比例放大倍數Kp增大Kp，可使靜態偏差變小，但系統的穩定性變差;反之，則可提高系統的穩定性，但是，靜態偏差變大。通常用調節器的比例放大倍數Kp的倒數8表示，稱為比例度。
17、積分時間T表示積分調節作用速度和強弱的可調參數。在模擬積分調節器中，其數值等于調節器積分回路的時間常數。
18、微分時間Td
表示調節器中微分調節作用強弱的可調參數。在模擬微分調節器中，其數值等于調節器微分回路的時間常數。
19、穩定性
系指控制系統在擾動作用下，過渡過程能否結束并達到平衡狀態的性能。在
擾動消除后，系統能恢復原來的平衡狀態的則是穩定的。
20、穩態精度
系指系統處于平衡狀態時，被控制量與給定值的偏差(即靜態偏差)。
21、動態精度
系指系統在隨時間變化的給定信號作用下所具有的精度。在定值系統中，動態精度就是過渡過程最大動態偏差。
22、自動控制系統
自動控制裝置和被控制對象組成自動控制系統，它能夠使被控制對象按預定的規律動作，自動完成真空工藝過程。如鍍膜機微機控制系統等。