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滑閥式真空泵知識解析
來源:蘇州奧歐萊 作者:admin1 時間:2019-04-10 19:51 點擊:
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滑閥式真空泵,全稱滑閥式油封機械真空泵,簡稱滑閥泵,同旋片泵一樣,是一種變?nèi)莘e式氣體傳輸泵,其應(yīng)用范圍和使用條件也與旋片泵基本相同。
滑閥式真空泵由于其結(jié)構(gòu)特點,容量比旋片式真空泵大得多,因此更多地應(yīng)用與大型真空設(shè)備上。滑閥式真空泵的基本類型也分為單級與雙級兩種類型。其中單級泵中的小泵極限壓力一般不大于0.6Pa,大泵大不大于1.3Pa(均關(guān)氣鎮(zhèn));雙級泵的極限壓力不大于0.06Pa(關(guān)氣鎮(zhèn))。抽速大于150L/s的滑閥式真空泵多采用單級形式。
由于滑閥式真空泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大偏心,沒有好的質(zhì)量平衡,在運轉(zhuǎn)時會產(chǎn)生較大振動。同時由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)心運動軌跡是復(fù)雜的封閉曲線,因此很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的完全平衡。這就限制了滑閥式真空泵的轉(zhuǎn)數(shù),一般控制在350~600r/min,個別的可達到1000r/min以上。
二、滑閥式真空泵的工作原理與結(jié)構(gòu)
1、滑閥式真空泵的工作原理
滑閥式真空的主要結(jié)構(gòu)包括泵體、偏心輪、滑閥組件和導(dǎo)軌等,干式螺桿真空泵廠家珂勒曦以圖例的方式為大家展現(xiàn)其簡易工作原理。
如圖,與泵腔同心的驅(qū)動軸帶動偏心輪旋轉(zhuǎn),偏心輪帶動滑閥環(huán)運動,使滑閥桿在導(dǎo)軌上下滑動和左右擺動。滑閥將泵腔分成A、B兩個部分。當(dāng)驅(qū)動軸按圖中所示方向轉(zhuǎn)動時,A腔容積增加,壓力降低,氣體經(jīng)入口、滑閥桿(A腔一側(cè)開口)進入A腔,此時處于吸氣過程?;y繼續(xù)順時針向左上位置運轉(zhuǎn),A腔容積達到最大時,進氣口與A腔隔絕,吸氣過程結(jié)束,與此同時,B腔容積處于不斷的減小、壓縮氣體的過程。當(dāng)B腔氣體壓力達到排氣壓力時,推開油封的排氣閥,開始排氣。當(dāng)滑閥處于正上方的位置時,排氣結(jié)束(A腔容積也處于最大),新一輪的循環(huán)過程開始。
2、滑閥式真空泵的結(jié)構(gòu)特點
如圖一所示,滑閥式真空泵的主要結(jié)構(gòu)包括了泵體、偏心輪、滑閥環(huán)、滑桿、導(dǎo)軌等一系列組件。與旋片式真空泵類似,滑閥泵也設(shè)有氣鎮(zhèn)閥,氣鎮(zhèn)孔開在排氣口附近或端蓋上,以排除含可凝性蒸氣的氣體,并在泵出口設(shè)置有油氣分離器,減少泵油的損耗和對環(huán)境的污染。
下圖是典型的滑閥式真空泵結(jié)構(gòu)圖。
除了單雙級的區(qū)分外,滑閥式真空泵還有單缸、雙缸、三缸的區(qū)分,其中三缸滑閥泵較好地解決了滑閥的質(zhì)量平衡,使泵的振動得到了較好改善,轉(zhuǎn)速也相對較高。
三、滑閥式真空泵的應(yīng)用要點
滑閥式真空泵與旋片式真空泵一樣可單獨使用,同時也可作為擴散泵、油增壓泵、羅茨泵等真空泵的前級泵使用,與旋片泵相比滑閥泵更為耐用,在真空鍍膜、真空熱處理、真空燒結(jié)、分子蒸餾、航空模擬實驗的領(lǐng)域使用較多。但在遇含水蒸氣、粉塵等介質(zhì)環(huán)境,需加裝過濾裝置,也無法用于易燃易爆氣體環(huán)境以及壓縮輸送氣體。同時受限于油封式機械真空泵的特點,在一些清潔環(huán)境領(lǐng)域,如半導(dǎo)體、石化等,適用性不及一些干式真空泵。
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